Ника-2013

 

       Серия «Ника-2013»: промышленные напылительные установки большой производительности. Современный аналог машин серий УВН-73..75.

       Цилиндрическая камера с горизонтальной осью из нержавеющей стали с размерами 700х500 мм с рубашкой охлаждения. Сухая (безмасляная) откачка (криогенный или турбомолекулярный насос, сухой спиральный насос). Система горизонтального перемещения фланцев для удобства перегрузки и обслуживания. Сменный комплект носителей для снижения затрат времени на перезагрузку.

       Задний фланец: семь позиций ISO63 для технологических устройств: до четырёх магнетронов, нагреватель, ионный источник.

       Передний фланец: барабан диаметром 600 мм с горизонтальной осью, автоматическая система привода заслонок. Обработка с однородностью не хуже 2%, 128 подложек 60х48, 48 подложек с диаметром 100.Возможность установки до четырёх окон, оборудованных заслонками. Вместо любого из окон может устанавливаться фланец ISO100 для дополнительного оборудования: 7 позиций для устройств: до четырёх магнетронов, нагреватель, ионный источник. Загрузка: 128 прямоугольных подложек 60х48 либо 48 круглых диаметром 100.

       Электропитание: 380 В, 50 Гц, 20..25 кВт

       Габариты: 1600х1600х1900.

       Масса: 800 кг.

       В серии Ника-2013 разработаны 3 модификации: напылительные установки РС (резистивные слои) и ПС (проводящие слои), плазмохимические МО/МТ (магнетронное осаждение/травление).

Работает с 1929 года

АО “90 экспериментальный завод”

— техническое обслуживание
и ремонт современной бронетанковой техники